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VC60-5系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級定位精度的托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)120Hz...

SurfaceZ系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級定位精度的垂直運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)200...

ART130V-5系列 直驅(qū)升降臺(tái)是納米級定位精度托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉滾珠導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)150Hz以上...

SMH-V系列 電動(dòng)直驅(qū)升降臺(tái)是納米級定位精度托舉運(yùn)動(dòng)Z向平臺(tái)，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035等，對應(yīng)行程分別是1...

ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺(tái)是納米級定位精度托舉運(yùn)動(dòng)升降平臺(tái)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，交叉滾珠導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)150Hz以上...